氦質(zhì)譜檢漏儀為氣體工業(yè)名詞術(shù)語(yǔ)，用氦氣或者氫氣作示漏氣體，以氣體分析儀檢測(cè)氦氣而進(jìn)行檢漏的質(zhì)譜儀。一般檢漏都采用氦氣(He)作為示漏氣體，但也有用氫氣(H)作為示漏氣體的，考慮到它的化學(xué)性質(zhì)及危險(xiǎn)性，在應(yīng)用中較少使用，所以實(shí)際大部分檢漏使用的都是氦氣。氦氣檢漏儀特有的清氦系統(tǒng)，快速有效地清除超標(biāo)的氦本底，保證檢測(cè)的穩(wěn)定性和準(zhǔn)確性；實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)氦氣壓力和濃度，保證了工件檢測(cè)的精度；
為了避免串液故障發(fā)生，需要對(duì)導(dǎo)流區(qū)域和二道密封區(qū)域進(jìn)行氦質(zhì)譜檢漏。 采用真空法進(jìn)行檢漏時(shí)，采用水環(huán)泵、旋片泵、不銹鋼波紋管、球閥、節(jié)流閥組建真空系統(tǒng)。首先使用水環(huán)泵抽真空，然后充入氮?dú)?，再次使用水環(huán)泵抽真空，反復(fù)幾次對(duì)換熱器內(nèi)部抽出水蒸氣和粉塵。使用工業(yè)吸塵器對(duì)換熱器外表面除塵和干燥。使用旋片泵抽真空和氮?dú)庵脫Q的方式對(duì)換熱器內(nèi)部進(jìn)一步干燥。干燥后在管熱管抽真空后，在的漏點(diǎn)噴氦氣，觀察氦檢儀顯示情況。對(duì)漏點(diǎn)進(jìn)行堵漏。
檢漏時(shí)噴在漏孔處停留的時(shí)間應(yīng)為儀器響應(yīng)時(shí)間的3倍，該時(shí)間再加上氦氣在真空系統(tǒng)中的傳遞時(shí)間，即為兩次噴氦的較小間隔時(shí)間，當(dāng)然真空系統(tǒng)越龐大，該間隔時(shí)間也越長(zhǎng)。氦質(zhì)譜檢漏儀不會(huì)受到主觀因素判斷的影響；檢測(cè)的數(shù)據(jù)；自動(dòng)生成數(shù)據(jù)保存，可追溯數(shù)據(jù)來源。氦質(zhì)譜檢漏儀應(yīng)用制冷行業(yè)：冰箱、空調(diào)、汽車用空調(diào)、蒸發(fā)器、冷凝器、奪縮機(jī)、低溫儲(chǔ)槽。
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